工業

用于生產橡膠、藥物。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑。特種有機合成。硅烷化試劑，生產上可用于西胺卡那霉素。

醫藥

可用于特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。

礦業

可用于硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理，其作用機理是以硅氮鍵與硅羥基縮合。

在半導體工業中用作光致刻蝕劑的粘結助劑。

在有機硅氮烷化學中，可以用作與氯硅烷單體進行氯交換，從而獲得聚硅氮烷。這種方法比直接通氨法在合成上有巨大優勢。